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硅片研磨液用白刚玉微粉1500目 2000目 3000目白色电熔氧化铝微粉

发布时间:2026-03-26人气:9

硅片研磨液用白刚玉微粉1500目 2000目 3000目白色电熔氧化铝微粉

白刚玉微粉用于硅片研磨液的高纯白刚玉微粉,采用优质氧化铝粉为原料,经2200℃以上高温电熔冶炼、结晶、破碎、精密分级等先进工艺制成。

白刚玉微粉呈纯净白色,氧化铝(Al₂O₃)含量高达99%以上,具有硬度高、粒度分布集中、自锐性优异、化学稳定性好等特点,是半导体硅片、光伏单晶硅片、多晶硅片研磨抛光的理想磨料。

产品规格与技术参数-硅片研磨液用白刚玉微粉1500目 2000目 3000目白色电熔氧化铝微粉

规格对应粒度号D50中值(μm)主要特点适用工序
1500目W1010.0±0.5切削力强,去除率高硅片粗磨、背减薄
2000目W77.0±0.4切削与光洁度平衡硅片中磨、过渡抛光
3000目W55.0±0.3表面光洁度高硅片精抛、边缘抛光


产品物化指标-硅片研磨液用白刚玉微粉1500目 2000目 3000目白色电熔氧化铝微粉

化学成分

Al2O3

Fe2O3

Na2O

MgO

K2O

CaO

SiO2

 99.35-99.50%

0.06%

0.30%

0.01%

0.03%

0.05%

0.15%

物理特性

莫氏硬度

比重

堆积密度

PH值

耐火度

9.0

3.90g/cm3

1.53-1.99g/cm3

7.0

2100℃

磨料粒度组成标准             

粒度

D0

D3

D50

D94

#240

127以下

103以下

57.0±3.0

40以上

#280

112以下

87以下

48.0±3.0

33以上

#320

98以下

74以下

40.0±2.5

27以上

#360

86以下

66以下

35.0±2.0

23以上

#400

75以下

58以下

30.0±2.0

20以上

#500

63以下

50以下

25.0±2.0

16以上

#600

53以下

41以下

20.0±1.5

13以上

#700

45以下

37以下

17.0±1.5

11以上

#800

38以下

31以下

14.0±1.0

9.0以上

#1000

32以下

27以下

11.5.±1.0

7.0以上

#1200

27以下

23以下

9.5±0.8

5.5以上

#1500

23以下

20以下

8.0±0.6

4.5以上

#2000

19以下

17以下

6.7±0.6

4.0以上

#2500

16以下

14以下

5.5±0.5

3.0以上

#3000

13以下

11以下

4.0±0.5

2.0以上

#4000

11以下

8.0以下

3.0±0.4

1.8以上

#6000

8.0以下

5.0以下

2.0±0.4

0.8以上

#8000

6.0以下

3.5以下

1.2±0.3

0.6以上


核心性能优势-硅片研磨液用白刚玉微粉1500目 2000目 3000目白色电熔氧化铝微粉

1. 高硬度,切削力强

白刚玉莫氏硬度高达9.0,仅次于金刚石和碳化硅,能够有效切削硅材料(莫氏硬度约7)。采用本产品配制的研磨液,材料去除效率高,可显著缩短加工时间,提升生产效率。

2. 粒度分布集中,避免划伤

通过精密溢流分级工艺,本产品粒度分布范围窄,D100(最大颗粒)得到严格控制。粒径均匀意味着研磨压力分布均匀,不会产生深划痕或凹坑,确保硅片表面光洁度和尺寸精度,满足高端半导体对表面质量的严苛要求。

3. 高纯度,杜绝金属污染

本产品氧化铝含量≥99%,Fe₂O₃杂质含量≤0.05%,远低于行业标准。在研磨过程中不会与硅片发生化学反应,完全避免金属离子污染——这对半导体制造工艺至关重要,可直接提升芯片良率。

4. 自锐性优异,保持研磨效率

白刚玉晶体在破碎后能形成新的锋利切削刃,这种独特的“自锐性”保证了研磨过程中磨料的持续切削能力,不会因磨料钝化导致加工效率下降,延长研磨液的使用寿命。

5. 化学稳定性好,适应多种介质

产品耐酸碱腐蚀,化学性质稳定,与水性或油性研磨液介质均具有良好的相容性,可灵活配制不同类型研磨液,满足不同客户的工艺需求。

典型应用场景-硅片研磨液用白刚玉微粉1500目 2000目 3000目白色电熔氧化铝微粉

应用领域具体用途推荐规格
半导体硅片晶圆背减薄、边缘抛光、双面研磨3000目、2000目
光伏单晶硅片硅片粗磨、表面平整化1500目、2000目
光伏多晶硅片硅片研磨抛光2000目、3000目
其他半导体材料碳化硅衬底、蓝宝石衬底研磨1500目、2000目、3000目

研磨液配制建议

  1. 磨料选择:根据加工阶段选择相应规格——粗磨用1500目,精抛用3000目

  2. 添加比例:建议白刚玉微粉占研磨液总质量的10%-30%

  3. 分散介质:可采用高纯去离子水或油性介质,加入适量分散剂确保均匀分散

  4. 分散工艺:采用高速分散或球磨工艺,确保微粉充分分散无团聚

  5. 使用设备:适用于双面研磨机、单面抛光机、边缘研磨机等硅片加工设备

包装与储存

  • 包装规格:25kg/袋,内衬防潮袋,外覆编织袋

  • 储存条件:密封存放于干燥阴凉处,避免受潮结块

  • 保质期:24个月(在未开封、储存条件适宜的情况下)


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